臭氧除了消毒滅菌外，它的去味能力很強，如空氣中的煙味、腥味、臭味等異味，使用臭氧都可以除掉，并能同時殺滅空氣中的細菌。通過調節臭氧的濃度亦適用于星級賓館、酒店、高檔公寓、寫字樓等場所空氣的凈化處理。
目前食堂及餐飲生、熟食品加工過程及用具的清洗、殺菌等環節按照衛生部門的衛生標準，均采用的是傳統的消毒方式（如紫外線、巴氏消毒液、甲醛等）效果都不是很理想，不是消毒不徹底，就是在消毒的同時制造新的污染源。
用臭氧水洗滌瓜果蔬菜，可去除、降解果蔬中的農藥、化肥等有害殘留物。適用于各種水果及生吃的蔬菜如黃瓜、西紅柿、蘿卜等，此方法降解殘余農藥90%以上,且不流失果菜營養。用臭氧水洗滌魚類、肉類、海鮮貝類，可除去腥味，殺滅其表面的細菌，洗滌后的肉質更鮮美，細嫩，有彈性，口感佳。洗滌夏日里的豆類制品（豆腐、豆干、豆絲、素雞、花干等）可延長保鮮時間。手及工作衣物是人體易感染及傳播細菌的部位，臭氧水在短時間內可有效地殺滅大腸桿菌、蠟桿菌、巨桿菌、痢疾桿菌、傷寒桿菌、流腦雙球菌、金黃色葡萄菌、沙門氏菌以及流感病毒，肝炎病毒等多種微生物。
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