超聲波加濕器報價此外，在高的相對濕度環境下，由于水分的吸收，使烘烤循環后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負面影響；較低的相對濕度（約30%）使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷（HMDS）。

在半導體潔凈室中控制相對濕度不是隨意的。但是，隨著時間的變化，回顧一下常見的被普遍接受的實踐的原因和基礎。到目前為止，在半導體潔凈室中迫切需要適度控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是嚴格的。

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1741 次濕度名詞解釋 加濕工程常用基本術語 [2006-11-27]空氣的組成就 加濕工程設計來說，空氣被看作由純的干空氣和水蒸氣兩部分組成。
   
濕度的定義是：空氣中濕氣的含量
   
這種濕氣必須是水蒸氣的形式，沒有蒸發成水蒸氣狀態的的可視水滴不會影響濕度。相對濕度這個名詞是指"在一定的溫度下，某一體積空氣中的實際含水量與該空氣限度的含水飽和量之比，用百分比（ % ）表示"。